產品與技術
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拉普拉斯致力于引領全球高端制造裝備，先進工具和復合材料的發展
拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP430
拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP430
拉普拉斯低壓水平磷擴散系統 LRP430
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB430
拉普拉斯低壓水平硼擴散系統 LRB430
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拉普拉斯低壓水平氧化退火系統 LOX430
拉普拉斯低壓水平氧化退火系統 LOX430
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拉普拉斯低壓水平化學氣相沉積鍍膜系統 LPCVD LLP430
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拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積鍍膜系統 PECVD Twin LPE430/470
拉普拉斯等離子增強化學氣相沉積鍍膜系統 PECVD Twin LPE430/470
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拉普拉斯水平等離子增強原子層沉積水平鍍膜系統 PEALD LAD400/04
拉普拉斯水平等離子增強原子層沉積水平鍍膜系統 PEALD LAD400/04
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拉普拉斯擴散/LPCVD自動上下料系統LLA8000/LLA15000
拉普拉斯擴散/LPCVD自動上下料系統LLA8000/LLA15000
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拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00
拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00
拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統 LAA3000/00