硅基半導體器件用ALD Pindola?系列Piax150型
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項?? 目

ALD(實驗室型)

功? 能

???半導體應用用途的超薄膜:Al2O3, HfO2, ZrO2, TiO2, SrTiO3 等

重要參數

???晶圓尺寸?? 8英寸??

???溫度范圍?? 25℃ ~ 500℃??

???前驅體數量三路或六路可選配??

???工藝腔潔凈度? 100級

膜厚均勻性

???≤2％



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