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拉普拉斯專注于光伏核心工藝與檢測分析設備,不斷推進高端裝備的國產化進程和光伏產業轉型升級。
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拉普拉斯緣起于半導體,致力成為國產半導體高端裝備領域的領先品牌。
核心零部件開發是高端裝備國產化和中國智造的必經之路,也是拉普拉斯高質量發展的根基和核心競爭力。
拉普拉斯將繼續致力于引領全球高端制造裝備,先進工具和復合材料的發展,本著“自強不息,止于至善”的原則砥礪前行。
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圖1,IMEC現場演示文稿截圖
圖4,(a)是3D概念圖,(b)SAC和COAG之后形成的具有Air gap 的FinFET TEM圖。
圖5,后Air Gap Spacer 工藝流程圖,由編者摘自對應演示文稿
以下是對應演示文稿
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